地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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マイクロデバイス開発支援センターのご案内

MEMS技術を用いて,デバイスを小型化しませんか
マイクロデバイス開発支援センターがお手伝いいたします

マイクロデバイス開発支援センターでは、
『はじめてMEMSデバイスを開発したい。アイデアはあるが、MEMSデバイスの試作開発にお困りの方』
『高機能性薄膜の作製をしたい。アイデアはあるが、作製装置や作製方法にお困りの方』
・・・
そんな、みなさまへのお手伝いをいたします!

MEMSデバイス作製装置,高機能性薄膜作製装置のご利用のほか、設計、試作で抱えておられる問題に関しても、技術相談、受託研究等でご協力いたします。




  MEMSデバイス開発支援センターへのご連絡は,地方独立行政法人大阪産業技術研究所の総合受付までお願いいたします。

    ・ 電 話 : 0725-51-2525 ( 総合受付 : 9:00~17:30 )
 



装置使用

※必要に応じて使用料とは別途、1機器(設備)につき1単位(30分)分の 指導料(2,500円)を頂戴致しております。

※令和元年10月1日より、消費税率引き上げに伴い試験料金が改定されています。

機器番号項目単位金額(円)
A3028 イオンビームエッチング装置 半日 8,200
A3031 超音波ボンダー 半日 3,200
A3032 スパッタ装置 半日 13,900
A3034 FET静特性測定器 半日 6,000
A3117 磁気特性測定装置 1日 32,500
A3131 電気抵抗測定システム 1日 12,500
A3132 強磁場発生装置 1日 29,000
A3134 半導体熱処理・拡散・CVD炉 半日 34,200
A3137 高精度フォトリソグラフ 半日 16,000
A3138 ウェハー切断機 1時間 2,100
A3140 マイクロデバイス簡易計測機器一式 1時間 900
A3148 ガウスメータ 1日 1,500
A3152 高密度プラズマCVD装置 半日 14,200
A3159 小型電気炉 時間 1,600
A8301 ホール効果測定装置 半日 17,900
A8303 多機能真空蒸着装置 半日 9,500
A8304 レーザ描画装置 半日 16,100
A8305 触針式膜厚測定装置 時間 2,000
A9206 半導体デバイス製造用スパッタ装置 半日 17,800
A9220 薄膜用スクラッチ試験機 1時間 4,300
A9239 真空蒸着装置 半日 6,000
A9257 強誘電体特性評価装置 1時間 1,200
A9261 クリーンルーム 半日 2,000
A9293 高速シリコンディープエッチング装置 1時間 10,500
A9334 分光エリプソメーター 1時間 6,800
A9338 低透磁率計 1時間 1,500
A9343 ヘリウムリークディテクター 半日 5,500
A9362 マグネトロンスパッタ装置 1時間 9,900
E1005 多層膜スパッタ装置 半日 14,000
E1006 電子ビーム蒸着装置 半日 6,000
E1007 NLDエッチング装置 半日 8,200
E1008 両面マスクアライナー 半日 16,000
E1009 電子顕微鏡(SEM) 半日 13,600

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インフォメーション

依頼試験、技術相談、相談内容で担当部署がわからない場合など、下記相談窓口へお尋ねください。

本部・和泉センター

本部・和泉センター・写真

(技術相談・総合受付)
0725-51-2525

9:00~12:15/13:00~17:30
(土日祝・年末年始を除く)


森之宮センター

●森之宮センター・写真

(技術相談)
06-6963-8181

9:00~12:15/13:00~17:30
(土日祝・年末年始を除く)