マイクロデバイス開発支援センターのご案内

MEMS・高機能性薄膜作製技術を用いて，デバイスを小型化しませんか
マイクロデバイス開発支援センターがお手伝いいたします

マイクロデバイス開発支援センターでは、
『はじめてMEMSデバイスを開発したい。アイデアはあるが、MEMSデバイスの試作開発にお困りの方』
『高機能性薄膜の作製をしたい。アイデアはあるが、作製装置や作製方法にお困りの方』
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そんな、みなさまへのお手伝いをいたします！

MEMSデバイス，高機能性薄膜作製装置のご利用のほか、設計、試作で抱えておられる問題に関しても、技術相談、受託研究等でご協力いたします。

 マイクロデバイス開発支援センターのパンフレットはこちらからダウンロード可能です。

  マイクロデバイス開発支援センターへのご連絡は，地方独立行政法人大阪産業技術研究所の総合受付までお願いいたします。
    ・ 電　話　：　０７２５－５１－２５２５　（ 総合受付　：　9:00～17:30 ）

• Topics
• マイクロデバイス開発をサポートする装置群
• MEMS・高機能性薄膜作製技術を用いて作製したデバイス
• 企業支援成果の紹介
• 装置使用
• 依頼試験

Topics

村上修一 研究室長（電子デバイス研究室）が
応用物理学会関西支部より第15回関西支部貢献賞を授与されました。
受賞内容：MEMS技術による関西企業のセンサ開発支援と技術者育成

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「センサイトWEBジャーナル」2022年2月号(センサイト協議会)に、弊所電子デバイス研究室の技術支援について紹介されました。

マイクロデバイス開発をサポートする装置群

マイクロデバイス開発をサポートする装置群の一部をご紹介いたします。
装置群を①成膜、②パターニング、③加工、④評価の4グループに
分類して表示しています。
装置の写真をクリックしていただくと、装置の概要が表示されます。

①　成膜
　　マグネトロンスパッタ装置　半導体デバイス製造用スパッタ装置