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真空蒸着装置
装置番号
A9239
構成装置・型番
メーカー・名称
型番
誠南工業株式会社
ヨミ
シンクウジョウチャクソウチ
料金
6,000円 半日 (消費税10%を含みます)
仕様
到達真空度
1×10E-4 Pa程度
蒸着源
3元
膜厚モニター
水晶振動子型膜厚モニター
最大基板加熱温度
200 °C
基板ホルダーサイズ
200mmΦ
関連装置
(A8303)多機能真空蒸着装置
概要
本装置は、2kW3連E型電子銃(キャノンアネルバ株式会社製)を用いた電子ビーム蒸着装置です。最大3種類の材料をセットでき、真空中で多層膜を作製することが可能です。
参考画像
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