真空蒸着装置

装置番号
A9239
構成装置・型番
メーカー・名称型番
誠南工業株式会社
ヨミ
シンクウジョウチャクソウチ
料金
6,000円 半日 (消費税10%を含みます)
仕様
到達真空度1×10E-4 Pa程度
蒸着源3元
膜厚モニター水晶振動子型膜厚モニター
最大基板加熱温度350 °C
基板ホルダーサイズ200mmΦ
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