多機能真空蒸着装置

装置番号
A8303
構成装置・型番
メーカー・名称型番
株式会社クライオバックRVC-2-ICP
ヨミ
タキノウシンクウジョウチャクソウチ
料金
9,500円 半日 (消費税10%を含みます)
仕様
到達真空度1×10E-4 Pa程度
基板ホルダーサイズ150mmΦ×3mmt、あるいは50mm角×3mmt×4枚
基板加熱温度350 °C
蒸着源2元(独立)
蒸着電源1系統、10V-150A
膜厚モニター水晶振動子式膜厚モニター
関連装置