多機能真空蒸着装置

装置番号

A8303

構成装置・型番

メーカー・名称	型番
株式会社クライオバック	RVC-2-ICP

ヨミ

タキノウシンクウジョウチャクソウチ

料金

9,500円半日　(消費税10%を含みます)

仕様

関連装置

概要: 本装置は、抵抗加熱蒸着源を2元備えた真空蒸着装置です。この2元の蒸着源は、真空外部から切り替え可能で、積層膜や多層膜の作製が可能です。また、蒸着源とは別に、ガス導入系1系統とプラズマ発生用コイルを備えており、13.56 MHz の高周波電力によるアルゴンプラズマの発生が可能で、いわゆるプラズマアシスト成膜も可能です。