高密度プラズマCVD装置

装置番号
A3152
構成装置・型番
メーカー・名称型番
神港精機株式会社ACV1060型
ヨミ
コウミツドプラズマCVDソウチ
料金
14,200円 半日　(消費税10%を含みます)
仕様
到達圧力8.0×10-5 Pa以下
標準基板寸法範囲φ100×h200 (mm)×8軸
基板回転自公転、公転、固定
基板加熱~350°C
基板パルスバイアスDC電源容量最大:5 kW 周波数 : 50 ~ 250 kHz
スパッタターゲットφ100×t5(mm)
使用ガスAr, H2, C2H2, TMS
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関連資料・リンク
参考画像