イオンビームエッチング装置

装置番号

A3028

構成装置・型番

メーカー・名称	型番
サムコ株式会社	RIE-10N

ヨミ

イオンビームエッチング

料金

8,200円半日　(消費税10%を含みます)

仕様

関連装置

関連資料・リンク

概要: 本装置は,フォトレジスト,シリコン酸化膜,シリコン窒化膜,ポリシリコン膜,シリコン基板等のエッチングが可能です。当研究所には本装置以外に金属薄膜加工用にイオンビームエッチング装置が,シリコン基板の垂直加工用にシリコンディープエッチング装置があります。