ウェハー切断機
- 装置番号
- A3138
- 構成装置・型番
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メーカー・名称 | 型番 |
株式会社東京精密 | A-WD-10A |
- ヨミ
- ウェハーセツダンキ
- 料金
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2,100円 1時間 (消費税10%を含みます)
- 仕様
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最大試料サイズ | 150 mm径基板 |
ブレード幅(標準) | 100 ミクロン |
送り速度(標準) | 5 mm/s |
送り速度(対応範囲) | 1~100 mm/s |
スピンドルモータ回転数 | 30000 rpm |
- 関連装置
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- 概要
- 本装置は,シリコン基板のダイシングが可能です。加工物はシリコン基板が基本であり,それ以外の材料の切削には,条件だしが必要です。難切削材料の切断加工をご依頼の場合,事前にお問い合わせをお願いいたします。
- 参考画像