分光エリプソメーター

装置番号

A9334

構成装置・型番

メーカー・名称	型番
ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社	M-2000

ヨミ

ブンコウエリプソメーター

料金

6,800円 1時間　(消費税10%を含みます)

仕様

関連資料・リンク

概要: 分光エリプソメーターは、材料の屈折率や消衰係数、薄膜の膜厚を非破壊で精度良く測定することができる装置です。また、近年解析技術の向上により、屈折率や膜厚だけではなく、材料物性に関する様々な情報を得ることが可能となってきています。