高速シリコンディープエッチング装置
- 装置番号
- A9293
- 構成装置・型番
-
| メーカー・名称 | 型番 |
| SPPテクノロジーズ | MUC-21 ASE-SRE |
- ヨミ
- コウソクシリコンディープエッチングソウチ
- 料金
-
10,500円 1時間 (消費税10%を含みます)
- 仕様
-
| 最大基板サイズ | 200 mm径シリコン基板 |
| 最大エッチング速度 | 5 ミクロン/分 |
| アスペクト比 | 30 |
| エッチング選択比レジスト | 100 |
| エッチング選択比酸化膜 | 200 |
- 関連装置
-
- 関連資料・リンク
-
- 概要
- 各種MEMSセンサ(超音波センサ、流量センサ、ガスセンサ、圧力センサ等)、環境発電素子、細胞インターフェースなどのMEMSデバイス開発に活用しています。この他にも様々なMEMSデバイスが作製可能ですので,ご要望をお聞きして対応いたします。
- 参考画像
文字サイズ
小
中
大