薄膜用スクラッチ試験機

装置番号
A9220
構成装置・型番
メーカー・名称型番
(株)レスカ製超薄膜スクラッチ試験機CSR-2000
ヨミ
ハクマクヨウスクラッチシケンキ
料金
4,300円 1時間　(消費税10%を含みます)
仕様
応力検出範囲 1mN~1N
測定分解能0.2mN
励振周波数45Hz
励振振幅5,10,20,40,50,80,100μm
圧子先端径5,15,25,50,100μm
Z軸駆動範囲 (荷重印加方向)20mm ステッピングモータ駆動
X軸駆動範囲 (スクラッチ方向)±10mm ステッピングモータ駆動
X軸駆動分解能0.5μm(微動時0.1μm)
Y軸駆動範囲±6.5μm(手動)
試料サイズ60×60mm(ステージサイズ) 手前には多少はみ出し可 高さ20mm以内
試料ステージX-Y-θ軸をマイクロメ―タにて、微調可能 傾斜面の測定が可能
試料観察光学顕微鏡にて、測定部の設定及び測定前後の試料面の観察が可能。またCCDカメラにて観察画像データの取り込みが可能。
関連装置
関連資料・リンク
参考画像