センター概要

マイクロデバイスの技術開発を総合的にサポートします。

マイクロデバイス開発支援センターでは成膜、パターニング、加工、評価用装置を揃えています。マイクロデバイス（MEMS*デバイス**を含む）の開発を技術支援します。

*MEMS･･･Micro Electro Mechanical Systemsの頭文字からメムスと呼ばれています。

**MEMSデバイス･･･立体構造体をした機械的機能と電気的機能を合わせ持ったデバイスを指します。
（製品例：振動発電デバイス、MEMSマイク、デジタルミラーデバイス等）

 

ご利用いただける内容

• 各種デバイス作製プロセス、設計、評価のご相談
• 各種薄膜作製装置（各種スパッタ、EB蒸着装置等）
• 各種プラズマエッチング装置（RIE、ICP-RIE、DRIE等）
• フォトリソグラフィ関連装置
• デバイス、薄膜の評価（電気特性、磁気特性、光学特性、表面粗さ、膜厚、密着性、組成等）
• 信号処理に関する相談、支援

その他、マイクロデバイスの技術支援を総合的にサポートします。お気軽にご相談ください。

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パンフレット

本センターの詳細については、下記パンフレットをご覧ください。

マイクロデバイス開発支援センター　パンフレット（PDF：２.6MB）