令和7度年(第47回)日本接着学会 論文賞を受賞しました
電子材料研究部 御田村 紘志 主任研究員、中村 優志 主任研究員、渡辺 充 ハイブリッド材料研究室長、渡瀬 星児 研究管理監他の研究論文が令和7度年(第47回)日本接着学会 論文賞を受賞しました
■受賞タイトル:「レーザー描画による酸化亜鉛薄膜のマイクロパターニング」
(日本接着学会誌 Vol.60, No.4 p.89~96 (2024))
■授与日:令和7年6月30日
■発行団体:日本接着学会
■共同研究:大阪電気通信大学、京都工芸繊維大学との共同研究
【受賞業績の概要】
御田村主任研究員らの研究成果が、上記、学会誌にて研究論文として掲載され、この論文が令和7年度(第47回)日本接着学会論文賞を受賞しました。
レーザー描画とはレーザー光を材料表面に集光して走査することで、その表面を化学的・物理的に変性させる微細加工技術です。この技術はフォトマスクや化学薬品を用いずに材料表面の微細加工が可能なためフォトリソグラフィーの代替として期待されていますが、本法を適用するには加工対象の材料自体にレーザー光を吸収する性質が備わっている必要がありました。本研究では、レーザー光に対して透明な材料である酸化亜鉛の直下に光吸収層であるポリピロール薄膜を導入することで、本来加工が困難であったはずの酸化亜鉛に対しても微細加工ができることを見出しました。この研究成果は本微細加工技術の適用範囲・材料を拡大するものとして意義あるものです。
本件 お問い合わせ先
・大阪産業技術研究所 電子材料研究部 ハイブリッド材料研究室
御田村 紘志 mitamura★orist.jp (★を「@」に替えてください)