蛍光X線分析

主に固体試料の定性分析（Na以上の重元素）、半定量分析、膜厚測定を局所的（φ0.1mm）かつ非破壊的に行うことができ、研究開発から品質管理まで幅広く活用することができます。製品に含まれる異物の分析、めっき厚の測定などへの利用が多く、合金ナノ材料の組成解析など最先端材料の分析にも威力を発揮しています。