電気学会 センサ・マイクロマシン部門 総合研究会　優秀論文発表賞

概要

　非破壊検査分野において,高周波の超音波を検出できるMEMSセンサが求められている。この要求に応えるために共振周波数1 MHz級のMEMS超音波センサの開発を行った。下部電極材料に金とアルミニウムの2種類の材料を用いたセンサを試作し,1 MHzの超音波の受信特性を比較した。測定結果より下部電極材料にアルミニウムを用いたセンサの1 MHzの超音波の検出感度が,金を用いたセンサに対して4.2倍になる結果が得られた。下部電極材料にアルミニウムを用いた高周波MEMS超音波センサは,今後非破壊検査分野への応用が期待される。