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第17回集積化MEMSシンポジウム優秀論文賞

受賞者	山根秀勝、山田義春、近藤裕佑、村上修一
授与者	（公社）応用物理学会集積化MEMS技術研究会
受賞日	令和8年3月16日
受賞対象テーマ	単結晶シリコン基板のMEMS微細加工によるフレキシブル化とその応用可能性

概要

電子・機械システム研究部山根秀勝研究員、山田義春主幹研究員、近藤裕佑主任研究員、村上修一研究室長が第17回集積化MEMSシンポジウム優秀論文賞を受賞しました

フレキシブルデバイスには一般に高分子基板が用いられるが、耐久性や環境安定性に課題がある。一方、シリコン基板は集積化実装に長けており電子デバイスとの親和性が高いが、脆性が高くフレキシブル用途には適さない。本研究では、シリコン基板にMEMS技術を用いて微細メッシュ構造を形成することで、フレキシブル／ストレッチャブル化することに成功した。ウェアラブルデバイス、曲面センサなどフレキシブルデバイスへ適用や、機械変形に伴う物性変化を利用したチューナブルなテラヘルツ光学素子への応用展開の可能性を示した。

賞状画像