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応用物理学会関西支部　第１５回関西支部貢献賞

受賞者	村上修一
授与者	公益社団法人応用物理学会関西支部
受賞日	令和5年3月13日
受賞対象テーマ	MEMS技術による関西企業のセンサ開発支援と技術者育成

概要

フォトリソグラフィを主としたMEMS技術を使って、関西企業向け各種センサの開発支援を高度受託研究、依頼加工、装置使用、技術相談等により実施した。
また、一般向け技術講演や学術講演を行うのみならず、企業の技術者とともに、当研究所内でセンサ試作プロセスの流動を行うというOJT（On-the-Job Training）により、技術者育成を行った。

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