| 受賞者 | 村上 修一 |
|---|---|
| 授与者 | 公益社団法人応用物理学会関西支部 |
| 受賞日 | 令和5年3月13日 |
| 受賞対象テーマ | MEMS技術による関西企業のセンサ開発支援と技術者育成 |
| フォトリソグラフィを主としたMEMS技術を使って、関西企業向け各種センサの開発支援を高度受託研究、依頼加工、装置使用、技術相談等により実施した。 また、一般向け技術講演や学術講演を行うのみならず、企業の技術者とともに、当研究所内でセンサ試作プロセスの流動を行うというOJT（On-the-Job Training）により、技術者育成を行った。 |
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