【掲載】シリコン基板、伸縮可能に　大阪産技研 東北大 テラヘルツ波制御技術（日刊工業新聞）

「シリコン基板、伸縮可能に 大阪産技研 東北大 テラヘルツ波制御技術」について日刊工業新聞に掲載されました

○掲載日：令和８年10月27日(火)
○掲載紙：日刊工業新聞　３面
○見出し：シリコン基板、伸縮可能に　大阪産技研 東北大 テラヘルツ波制御技術
○内　容：電子・機械システム研究部の山根主任研究員らと東北大学の冨士田誠之教授が、微小電気機械システム(MEMS)微細加工技術を用いて単結晶シリコン基板を伸縮できる構造に加工し、テラヘルツ波の光学応答を制御することに成功したことが掲載されている。今後は位相や偏光を制御する素子、焦点可変レンズなどさまざまなデバイスへの応用が期待される。

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