原子間力顕微鏡（Atomic Force Microscope: AFM）

原子間力顕微鏡（Atomic Force Microscope: AFM）は、板ばねに取り付けられた微小な探針でサンプルの表面をスキャンすることで、表面の凹凸や弾性などを測定する装置です。探針をごく弱い力でサンプル表面に触れさせながら測定するため、板状・フィルム状など比較的平坦なサンプルでさえあれば、材質を問わずその表面のナノサイズの凹凸を測定することができます。また、表面の凹凸を立体感のある斜めから見た図として表示できるほか、スキャン範囲内の任意の２点間の断面図を出力し、微細パターンの幅や高さなどの情報を得ることもできます。本研究所が保有するSHIMADZU SPM-9600では、スキャンの最大範囲は３０μｍ角、その範囲内にある数ｎｍの凹凸を読み取ることができます。本装置の性能やご使用に関しては、担当者までご相談ください。