投2024-0079

発表論文	スクリーン印刷によるP(VDF-TrFE)膜の作製とフレキシブル超音波センサへの応用
発表者名	○小森 真梨子、田中 恒久、宇野 真由美
掲載誌/掲載箇所	電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol. 145, No.2
発表日	2026/2/18

概要

フレキシブルな超音波センサの実現を目指し、ポリマー強誘電体P(VDF-TrFE)を圧電体として用いた超音波センサの作製と評価を行った。P(VDF-TrFE)膜をスクリーン印刷によってパターニングし、その作製条件が強誘電体特性に与える影響を評価した結果、アニール時の真空度が高いほど球晶様粒子となってしまい、大気圧下アニールの場合で高い残留分極値が得られた。超音波センサの共振周波数はほぼ設計通りの値が得られた。今後はフレキシブル形状での動作実証やセンサアレイの素子ばらつきの評価と改良を行い、配管や人体といった曲面形状での内部探査等への応用を目指す。