投2021-0036

発表論文	Development of Micro Array Sensor for Aerial Ultrasonic of 1 MHz(1 MHz空中超音波マイクロアレイセンサの開発)
発表者名	○田中 恒久、村上 修一、中山 健吾
掲載誌/掲載箇所	Electronics and Communications in Japan Vol.104, Issue3, 2021, e12323
発表日	2021/9/30

概要

非破壊検査分野において,高周波の超音波を検出できるMEMSセンサが求められている。この要求に応えるために共振周波数1 MHz級のMEMS超音波センサの開発を行った。下部電極材料に金とアルミニウムの2種類の材料を用いたセンサを試作し,1 MHzの超音波の受信特性を比較した。測定結果より下部電極材料にアルミニウムを用いたセンサの1 MHzの超音波の検出感度が,金を用いたセンサに対して4.2倍になる結果が得られた。下部電極材料にアルミニウムを用いた高周波MEMS超音波センサは,今後非破壊検査分野への応用が期待される。