投2021-0037

発表論文	Electrical and piezoresistive properties of titanium oxycarbide thin films for high-temperature pressure sensors
発表者名	○筧 芳治、山田義春、近藤裕佑、小栗 泰造、佐藤 和郎
掲載誌/掲載箇所	Vacuum 193 (2021) 110550
発表日	2021/8/26

概要

近年、プラントIoTにおける高温下でのプロセスパラメーター(圧力等)のリアルタイム監視を目的として、小型、安全かつ安価な高温圧力センサの実現が期待されている。本報告では、ひずみ抵抗薄膜材料として優れた耐熱性を有するTiCに注目し、酸素添加によるTiC薄膜中の結合状態の変化が電気特性およびゲージ率に与える影響について調べた。その結果、高温まで縮退的な電気伝導を示すTiCxOy薄膜が得られ、試作した3層型ひずみ抵抗薄膜(SiC/TiCxOy/SiC)を用いた圧力センサの出力は、室温～400°Cの温度範囲でスパン出力は印加圧力に比例し、温度に対してはほぼ一定になることを見出した。