口2026-0128

発表題目	固液界面計測に向けたXAS-PEEM検出深さの実験的・数値的評価
発表者名	○竹内 雅耶、他
発表会名	第87回応用物理学会秋季学術講演会
発表日	2026/9/11

概要

XAS-PEEMは元素選択的な二次元観察が可能であり、液体のオペランド計測への応用が期待される。本研究では、固液界面計測への応用を目的として、XAS-PEEMにおける電子信号の検出深さを実験および数値シミュレーションにより評価した。Cr上に5.8 nm厚のSiNx膜を形成した試料を用いた実験から、検出信号は5 eV以下の低エネルギー二次電子が支配的であることが示唆された。さらに、電子散乱シミュレーションにより一次電子の輸送過程を評価し、XAS-PEEMにおける検出深さを定量的に検討した。