口2026-0071

発表題目	超純水中接触による石英ガラスの簡便な大気非暴露直接接合の検討
発表者名	山根 秀勝
発表会名	第87回応用物理学会秋季学術講演会
発表日	2026/9/8

概要

石英ガラスは透明性、耐薬品性、熱的安定性に優れ、光学部品や微小流路計測セルに用いられる。本研究では、有機溶媒、オゾン処理、アルカリ活性化剤を用いず、大気暴露を避けた簡便な石英―石英直接接合を検討した。ピラニア洗浄後、超純水中で基板同士を接触させ、残存水膜を利用して位置合わせと押圧を行い、室温で自然乾燥させた。その結果、大気中接触では未接合領域が残りやすかったのに対し、超純水中接触では均一な接合が再現性よく得られた。加熱後の接合強度や流路封止耐圧を評価し、光学部品・マイクロ流路応用への有効性を検討する。