口2026-0086

発表題目	放射光PEEMによる液体観察に向けた新規液体セルデバイスの開発
発表者名	○竹内 雅耶、他
発表会名	第17回集積化MEMS技術研究ワークショップ
発表日	2026/7/30

概要

放射光を用いたPhotoemission Electron Microscopy(PEEM)は元素選択的な表面観察が可能であり、固液界面反応のその場計測への応用が期待されている。本研究では、真空中で液体を保持できる新規液体セルを開発し、PEEMによる液体観察への適用性を評価した。純水を封止した液体セルに527~550 eVのX線を照射し、SiNx窓から放出された電子をPEEMで観察した。得られた像から電子強度を算出した結果、純水の酸素K吸収端に対応するpre-edgeおよびmain-edgeの変化を確認した。これにより、開発した液体セルを用いて、真空中に封止した純水の吸収分光特性を放射光PEEMで検出できることを示した。