地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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口2026-0003

発表題目 DMDダブルスリットのフーリエ面干渉を用いた波面位相計測
発表者名 ○後藤 佑太朗、山東 悠介
発表会名 第51回 光学シンポジウム
発表日

2026/6/18

概要


デジタルマイクロミラーデバイスをダブルスリットとして用いた、参照光不要の波面位相計測法を提案する。フーリエ面で干渉縞を観測し、2つのスリット間の距離を走査しながら、2点間の位相差をFFT解析により直接抽出し、波面の位相分布を計測する。空間光変調器で生成した既知波面(傾斜・球面波)を用いた実証実験では、設定した波面を37.8 μmの空間分解能で、設定値との偏差3?6%以内という良好な精度で復元することに成功した。この結果は、一般的なShack-Hartmannセンサと比べて高い空間分解能での波面計測が可能であることを示し、光学素子の収差評価や補償光学への応用が期待される。