口2025-0330

発表題目	焼結ダイヤモンド工具の高精度ツルーイング- 切れ刃トランケーション用工具材の検討 -
発表者名	○渡邊 幸司、柳田 大祐、他
発表会名	2026年度精密工学会春季大会学術講演会
発表日	2026/3/17

概要

次世代パワーデバイス用SiC基板を高精度・高能率にダイシングする新たな加工技術が求められている.これまでにSiC基板ダイシング用の焼結ダイヤモンド(PCD)工具の回転振れを放電加工で機上修正するツルーイング法を開発してきた.一方で,硬脆材料であるSiCを高精度に加工するには,PCD工具の切れ刃先端高さを高精度に均一化(トランケーション)する必要がある.これまでに突出した切れ刃先端部のみを石英ガラスで摩耗させる切れ刃トランケーション法について検討してきた.本報では切れ刃トランケーション技術の高度化を目的に,切れ刃トランケーション用工具材について検討した結果を報告する.