口2025-0284

発表題目	MEMS技術による薄膜の熱伝導率測定
発表者名	○山田 義春、筧 芳治
発表会名	第73回応用物理学会春季学術講演会
発表日	2026/3/17

概要

持続可能な社会の実現に向けて熱電発電や熱流制御技術への関心が高まり、これらを支える薄膜材料の熱特性を精密に測定する技術が求められている。しかし、薄膜材料の測定においては、基板の影響が支配的となるため、熱伝導率の測定は容易ではない。これまで、いくつかの手法が提案されているが、高価な装置や複雑な解析が必要などの課題がある。我々は、熱容量が非常に小さいというダイアフラム構造の特徴に着目して薄膜の熱特性を測定する手法について取り組んできた。本研究では微細加工したサンプルを利用した真空中での薄膜の熱伝導率測定について報告する。