口2025-0304

発表題目	ナノインデンターを用いたIF法による破壊靭性評価の試験条件最適化の検討
発表者名	上田 侑正
発表会名	表面技術協会 第153回講演大会
発表日	2026/3/10

概要

圧子圧入法(IF法)はセラミックスの破壊靭性評価に広く用いられているが,従来のビッカース試験機を用いたIF法(V-IF法)は薄膜材料への適用が困難である。本研究では,Si(100)単結晶基板を対象に,V-IF法とナノインデンターを用いたIF法(N-IF法)による破壊靭性評価を比較し,N-IF法における最大荷重の影響を検討した。その結果,最大荷重100 mNにおいてばらつきが最小となり,得られたKcはV-IF法の結果と良好に一致した。以上より,適切な荷重条件を選定することで,N-IF法による信頼性の高い破壊靭性評価が可能であることが示唆された。