口2025-0283

発表題目	ラングミュア・ブロジェット膜作製装置向けMEMS表面張力計の開発
発表者名	○村上修一、柏木行康、筧芳治、金岡祐介、小栗泰造
発表会名	令和8年電気学会全国大会
発表日	2026/3/12

概要

近年、LB膜は、高い均一性、分子配向性、最少の材料で表面を被覆できる物質効率の高さなどの特長を有することから、幅広い材料科学分野でさかんに研究されている。LB膜は、水面に膜材料である両親媒性分子を展開した後、せき板で膜を圧縮し緻密な単分子膜を得る。この際に表面張力をモニタする必要があるが、表面張力計の測定子のサイズが大き過ぎると製膜の妨げになることもあり、逆に小さ過ぎると感度が不足する問題を抱えている。本研究では、MEMS技術を使ってSi片持ち梁上に歪み抵抗素子を、更に水面と接触する同梁先端部にフィン形状の測定子を形成して、表面張力を電気抵抗変化として高感度に検出する小型表面張力計の開発を行ったので報告する。