地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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口2024-0301

発表題目 Terahertz Broadband Refractive Index Control Using Flexible Silicon Effective Medium
発表者名 ○山根 秀勝、村上 修一、山田 義春、近藤 裕佑、宮島 健、他
発表会名 OPTICS and PHOTONICS International Congress 2025
発表日

2025/4/23

概要


本研究では、テラヘルツ帯における屈折率の再構成可能な制御を目的とした、フレキシブルシリコン有効媒質を提案する。MEMS加工技術を用いて、厚さ200 μmのフレキシブルシリコン有効媒質を作製し、周期的な螺旋ばね構造を導入することで、機械的な伸縮性と空気充填率の増加を実現した。THz時間領域分光システムを用いて測定したフレキシブルシリコン有効媒質の屈折率スペクトルを観測した。0.6 THz以下の広い周波数範囲において屈折率制御を実現し、最大約8%の屈折率低減が可能であることを明らかにした。本手法の最大の特長は、単結晶シリコンを用いることで高い透過率を維持しながら、製造コストを抑えられる点にある。