口2023-0272

発表題目	焼結ダイヤモンド工具の高精度ツルーイング-放電ドレッシングと切れ刃トランケーション-
発表者名	○渡邊 幸司、柳田 大祐
発表会名	2024年度精密工学会春季大会学術講演会
発表日	2024/3/14

概要

焼結ダイヤモンド(PCD)工具は,極めて高い硬度と耐摩耗性を有することから,次世代半導体基板として有望視されている単結晶SiCやガラスレンズ成形用金型材であるCVD-SiCなどの硬脆材料を高精度に加工できる工具として期待されている.しかし,PCD工具の回転振れを修正する適切なツルーイング法がないことが課題となっていることから,PCD工具の回転振れを修正する機上放電ツルーイング法を提案し,その有効性をこれまでに示してきた.本研究では,PCD工具を用いた硬脆材料の加工精度向上を目的に,切れ刃の生成(ドレッシング)技術と切れ刃高さの均一化(切れ刃トランケーション)技術について検討した結果を報告する.