口2023-0222

発表題目	異なる希ガス元素を含有した金属ガラス膜の微細組織と高温硬さ特性
発表者名	小畠 淳平
発表会名	2024年春期(第174回)講演大会
発表日	2024/3/12

概要

本研究所ではUBMスパッタ法により金属ガラス膜の非晶質構造中に数nmの固体状態の希ガスを均一分散できること、そして、この希ガス含有膜は熱ナノインプリント成型性に優れることを見出している。希ガスの含有が膜に与える影響については古くから国内外で報告がなされているが、固体状態の各希ガス元素を含有した膜がどのような機械的特性を示すかについては研究例がなく未知の状況である。本発表では、UBMスパッタ法により固体状態のAr、NeおよびArとNeを含有したTi-Cu基金属ガラス膜の微細組織と高温硬さを調査した結果を報告する。