口2023-0259

発表題目	50層超のa-C:H光学多層膜のPECVD製膜とその光学特性評価
発表者名	○近藤 裕佑、松村直巳
発表会名	表面技術協会第149回講演大会
発表日	2024/3/5

概要

PIG-PECVD法により作製される水素化アモルファスカーボン(a-C:H)膜は製膜時のガス分圧やプラズマ密度,基板パルスバイアス等を制御することで光学定数値を広範囲に制御できる.本報告では,最大80層の多層膜作製技術と,同技術を基に作製した赤外光学フィルターの優れた特性(対象波長反射率99%以上かつ半値幅0.3μm以下)について報告する.本技術は近年急速に市場拡大している赤外線センサー市場への展開が期待される.