口2023-0062

発表題目	繊維センサ、IoTとMEMS技術に関する研究開発、他
発表者名	○宇野 真由美、村上 修一、山根秀勝
発表会名	第5回 使えるセンサ技術展2023
発表日	2023/7/19

概要

当所における高機能性薄膜・MEMSデバイス分野に関係する技術支援内容を、第5回 使えるセンサ技術展2023にて出展し紹介する。各種製膜装置、MEMS微細加工関連装置や、当所の技術支援内容を紹介するとともに、各種高機能性薄膜、各種センサ、エネルギーハーベスタ、フレキシブルセンサ、表面改質等のシーズ研究事例も合わせて発信する。また、エネルギーハーベスタとしての磁界振動発電デバイスのデモンストレーションや、繊維センサ、不織布デバイス等の実物展示を行う。