口2022-0181

発表題目	P(VDF/TrFE)を用いたフレキシブル圧電型MEMS超音波センサ
発表者名	○田中 恒久、宇野 真由美、小森 真梨子
発表会名	令和5年電気学会全国大会
発表日	2023/3/15

概要

MEMS技術を用いて、ポリイミドフィルム上に圧電型超音波センサ構造を有するフレキシブル超音波センサを開発した。受信特性を評価した結果、基材にシリコン基板を用いて作製した超音波センサと同等の特性を示した。開発したセンサは、配管等の曲面での計測が可能なフレキシブルセンサとしての応用が可能である。今後は本構造を用いた高周波超音波センサアレイの開発を行い、内部探傷センサ等への応用を目指す。