口2022-0233

発表題目	UBMスパッタ法で形成した金属ガラス膜の膜質に与える成膜ガス種の影響
発表者名	小畠 淳平
発表会名	表面技術協会 第147回講演大会
発表日	2023/3/8

概要

成膜時の膜への希ガスの含有については国内外で研究が実施されており,膜中での存在状態や膜特性への影響について議論が進んでいる.非晶質構造と過冷却液体領域を持つ金属ガラス膜は,熱ナノインプリント,MEMS 分野などへの応用が期待できる薄膜である.これまでの研究で,発表者はアンバランスドマグネトロン(UBM)スパッタ法により高い基板バイアス電圧を印加することで膜に高濃度のAr が含有されること,Arが膜中でナノサイズのクラスターを形成することを見出している.本発表では,Ne ガスまたはNe+Ar 混合ガスを用いてUBM スパッタ法で基板バイアス電圧を変えて形成したTi-Cu 基金属ガラス膜の構造と機械的特性について報告する.