口2022-0188

発表題目	2層型ひずみ抵抗薄膜 TiCxOy SiCxOy を用いた高温オイルレス圧力センサの開発
発表者名	筧 芳治
発表会名	第215回TMC技術研修会(第26回オンライン版)
発表日	2023/1/25

概要

プラント設備の保全を目的としたプラントIoTにおいて使用される高温圧力センサの開発について、これまで取り組んできた1TiCxOyひずみ抵抗薄膜の作製、および22層型ひずみ抵抗薄膜(TiCxOy/SiCxOy)を用いた高温オイルレス圧力センサの作製について報告する。1TiCxOyひずみ抵抗薄膜については、電気特性の評価からITO薄膜と同様に縮退的な電気伝導が400°Cまで維持されることを確認した。また、22層型ひずみ抵抗薄膜(TiCxOy/SiCxOy)を用いた高温オイルレス圧力センサは、大気中、室温?400°Cの温度範囲で印加圧力に比例し、温度に対してほぼ一定値を示すことを確認した。