口2022-0089

発表題目	PIG-PECVD法で作製したa-C:H膜による赤外帯域除去フィルター設計
発表者名	○近藤 裕佑、松村直巳
発表会名	第83回応用物理学会秋季学術講演会
発表日	2022/9/21

概要

PIG-PECVD法により製膜されるa-C:H膜は、プラズマ密度と基板バイアスを個別に制御することで光学定数値を広範囲に制御できる。我々は、これを利用したa-C:H膜の赤外光領域の光学薄膜(帯域反射膜)の検討を進めている。しかし、a-C:H膜の産業利用はガスバリア性やトライボロジー特性に関するものが主であり、光学多層膜の実現に必要な赤外領域の正確な光学定数値の測定例は極めて少なく、具体的な構造設計が出来なかった。そこで、本発表ではFTIRを利用した光学定数値の算出結果と、これを基にした光学薄膜の構造設計の計算結果について報告する。