口2022-0037

発表題目	UBMスパッタ法およびCVA法を活用した成膜技術~金属ガラス膜・窒化ホウ素膜の研究事例~
発表者名	小畠 淳平
発表会名	第61回ドライコーティング研究会
発表日	2022/6/23

概要

ドライコーティング技術は工具・金型の高寿命化および高機能化に大きく貢献している重要な表面処理である。現在成果をあげているTi、Cr、Al系の窒化物膜とDLC膜については適用分野の拡大が進められているが、市場は新たな組成・新たな機能を示す膜に関心が移っており、国内外で研究開発が進んでいる。本研究所では、独自に開発したターゲットによる窒化ホウ素膜の成膜技術、ナノインプリント分野に適用可能な新たな金属ガラス膜の成膜技術を確立してきた。本講演では、これら新たなドライコーティング技術の背景、研究成果、今後の展開について説明する。