口2025-0233

発表題目	フレキシブル・シリコンフォトニクスの創成:伸縮変形によるテラヘルツ屈折率制御
発表者名	○山根 秀勝、村上 修一、山田 義春、近藤 裕佑、宮島 健、他
発表会名	第36回光物性研究会
発表日	2025/12/12

概要

本研究では,MEMSプロセスにより作製した屈折率可変なフレキシブルシリコン有効媒質を提案する。単結晶シリコン基板に周期スパイラルばね構造を形成し,機械的伸縮によりシリコンと空気の実効組成比を変化させることで屈折率を動的に制御する。THz時間領域分光により,0.6 THz以下では均一なSi-air有効媒質として振る舞い,伸長時に最大約8%の可逆的な屈折率低下が得られることを示した。2次元周期構造の導入により,全偏光方向で広帯域な可変性を実現しており,高効率THz伝搬,チューナブルメタレンズ,センシング・イメージング,ウェアラブルフレキシブル光電子デバイスへの応用基盤となる。