口2024-0276

発表題目	ナノインデンテーション法を用いた薄膜の残留応力推定手法の検討
発表者名	上田 侑正
発表会名	表面技術協会第151回講演大会
発表日	2025/3/13

概要

ナノインデンターで得られる荷重-変位曲線のデータから材料中の残留応力を推定する技術について検討した。具体的には、有限要素法(FEM)を用いて生成した荷重-変位曲線のデータと無次元化関数を組み合わせる手法(本手法)を薄膜の残留応力評価に適用し、X線回折法と比較することによりその妥当性を検討した。X線回折法と本手法とで得られる残留応力の差異の原因のうち、本手法に起因するものについて考察し、材料特性や試験条件による無次元化関数の変化が、この差異を引き起こしていると推察した。本手法で正確に残留応力を評価するためには、この課題を解決する必要があると考えられる。