| 番号 | 装置名 | 使用単位 | 金額 | 備考 |
|---|---|---|---|---|
| A3028 | イオンビームエッチング装置 | 半日 | 8,200円 | |
| A3031 | 超音波ボンダー | 半日 | 3,200円 | |
| A3134 | 半導体熱処理・拡散・CVD炉 | 半日 | 34,200円 | |
| A3138 | ウェハー切断機 | 1時間 | 2,100円 | |
| A8306 | マスクレス露光装置 | 1時間 | 8,100円 | |
| A9206 | 半導体デバイス製造用スパッタ装置 | 半日 | 17,800円 | |
| A9261 | クリーンルーム | 半日 | 2,000円 | |
| A9269 | 有機物蒸着装置 | 1日 | 51,700円 | |
| A9293 | 高速シリコンディープエッチング装置 | 1時間 | 10,500円 | |
| A9393 | スピンコーター | 1時間 | 3,000円 | |
| E1007 | NLDエッチング装置 | 半日 | 8,200円 | |
| E1008 | 両面マスクアライナー | 半日 | 16,000円 | |
| E1015 | 高精細両面マスクアライナー | 1時間 | 6,800円 |