装置使用料金表

令和6年2月13日現在
開放設備・機器 > 加工・製造機器 > 薄膜・電子デバイス作製・微細加工
(消費税10%を含みます)
番号 装置名 使用単位 金額 備考
A3028 イオンビームエッチング装置 半日 8,200円
A3031 超音波ボンダー 半日 3,200円
A3134 半導体熱処理・拡散・CVD炉 半日 34,200円
A3137 高精度フォトリソグラフ 半日 16,000円
A3138 ウェハー切断機 1時間 2,100円
A8306 マスクレス露光装置 1時間 8,100円
A9206 半導体デバイス製造用スパッタ装置 半日 17,800円
A9261 クリーンルーム 半日 2,000円
A9269 有機物蒸着装置 1日 51,700円
A9293 高速シリコンディープエッチング装置 1時間 10,500円
A9393 スピンコーター 1時間 3,000円
E1007 NLDエッチング装置 半日 8,200円
E1008 両面マスクアライナー 半日 16,000円
E1015 高精細両面マスクアライナー 1時間 6,800円
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