装置使用料金表

令和6年2月13日現在
開放設備・機器 > 加工・製造機器 > 表面加工・表面処理
(消費税10%を含みます)
番号 装置名 使用単位 金額 備考
A3032 スパッタ装置 半日 13,900円
A3114 エアロプラズマ溶射装置 1時間 9,900円
A3116 溶射ロボット・防音室 1時間 5,800円
A3147 UBMスパッタ装置 1日 52,800円
A3152 高密度プラズマCVD装置 半日 14,200円
A8303 多機能真空蒸着装置 半日 9,500円
A9239 真空蒸着装置 半日 6,000円
A9362 マグネトロンスパッタ装置 1時間 9,900円
A9378 イオンビームスパッタ装置 半日 13,000円
A9398 四重極型質量分析計 1時間 2,900円
E1005 多層膜スパッタ装置 半日 14,000円
E1006 電子ビーム蒸着装置 半日 6,000円
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