UBMスパッタ装置

装置番号
A3147
構成装置・型番
メーカー・名称型番
神戸製鋼所UBMS202
ヨミ
ユビエムスパッタソウチ
料金
52,800円 1日　(消費税10%を含みます)
仕様
蒸発源UBMS2台、AIP1台
スパッタ電力最大3 kW
アーク電流最大200 A
バイアス電圧最大DC1000 V
プロセス圧力0.1~4.0 Pa
プロセスガス種アルゴン、窒素、メタン、酸素
電子源放電電流2~10 A
ヒーター表面温度最大700 °C
ワークテーブル回転方法自転および公転が可能
ワークテーブル回転数主軸で1.5~10 rpm
最大処理空間φ250×h270 mm
参考画像