高精度フォトリソグラフ

装置番号

A3137

構成装置・型番

メーカー・名称	型番
ズースマイクロテック社	MA6

ヨミ

コウセイドフォトリソグラフ

料金

16,000円半日　(消費税10%を含みます)

仕様

関連装置

関連資料・リンク

概要: 本装置は,ビデオキャプチャ機能を使った両面アライメントと露光が可能です。露光方式には,コンタクト露光の他にプロキシミティ露光が可能です。プロキシミティ露光とは,フォトレジストをフォトマスクに接触させない露光のことであり,フォトレジストの剥離とフォトマスクへのフォトレジスト付着を防ぐことが出来ます。