番号 | 試験名 | 試験条件 | 金額 | 備考 |
---|---|---|---|---|
O303 | スパッタリング |
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19,200円 |
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O304 | イオンビーム又はニュートラルビーム |
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34,600円 |
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O305 | イオンビームエッチング |
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25,900円 |
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O310 | 半導体熱処理(酸化、拡散、CVD) |
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49,500円 |
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O312 | 高密度プラズマCVD |
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34,600円 |
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O315 | プラズマアシスト蒸着 |
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19,000円 |
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O318 | マスク設計 |
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5,000円 |
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O319 | スパッタリング(半導体デバイス製造用) |
|
22,400円 |
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O320 | 集束イオンビーム(FIB)加工(STEM/TEM観察用試料作製:標準仕様) |
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140,700円 |
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O321 | 集束イオンビーム(FIB)加工(断面試料作製:標準仕様) |
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50,100円 |
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O322 | 高精度フォトリソグラフ |
|
33,300円 |
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O323 | 真空蒸着 |
|
15,000円 |
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O324 | 高速シリコンディープエッチング |
|
30,900円 |
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O325 | マグネトロンスパッタリング |
|
25,200円 |
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O326 | マグネトロンスパッタリングの追加延長 |
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8,500円 |
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O327 | フォトマスク作製 |
|
27,400円 |
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