球面収差補正機能付き走査透過電子顕微鏡:EDX・EELS付(1日)
- 装置番号
- A9204
- 構成装置・型番
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| メーカー・名称 | 型番 |
| 日立ハイテク | HD-2700 |
| エダックスジャパン | EDAX Genesis XM2 |
| 日立ハイテク | EV3000 |
- ヨミ
- キョウメンシュウサソウサトウカイチニチ
- 料金
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289,400円 1日 (消費税10%を含みます)
- 仕様
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| 像分解能 | 0.144nm保障(倍率×7,000,000) |
| 倍率 | ×100~×10,000,000 |
| 加速電圧 | 200kV、120kV、80kV |
| 映像信号 | 明視野STEM像(位相コントラスト像) |
| 〃 | 暗視野STEM像(Zコントラスト像) |
| 〃 | 二次電子像 |
| 〃 | 特定回折暗視野像 |
| 〃 | 特性X線像 |
| 〃 | EELS像 |
| 電子銃 | 冷陰極電界放出形 |
| 収差補正器 | 6極子/トランスファーレンズ方式 |
- 関連資料・リンク
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- 概要
- 本装置は、球面収差補正装置(Csコレクタ)を搭載した走査透過電子顕微鏡(STEM)と、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)ならびに電子線エネルギー損失分光装置(EELS)から構成され、ナノよりも小さな原子オーダーでの観察/分析が可能です。
本装置から得られる情報は、明視野STEM像(TE像)、暗視野STEM像(ZC像)、二次電子像(SE像)、特定回折暗視野像で、物質の構造、化学組成や結晶構造を観察することができます。また、付属するEDSからB~Uまでの元素分析(点、線、面分析)とEELSを使った軽元素(Li,C,N,O等)や遷移元素の様々な元素マッピング像を簡便かつ短時間で取得することができ、化学結合状態の評価や化合物の同定が行えます。
各種の先端材料やデバイスの開発・品質管理に有効なツールとなり得、材料やデバイスの高性能化・高度な製品評価技術の確立に役立ちます。
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