触針式膜厚測定装置

装置番号

A8305

構成装置・型番

メーカー・名称	型番
KLA テンコール株式会社	P-16+

ヨミ

ショクシンシキマクアツソクテイソウチ

料金

2,000円 1時間　(消費税10%を含みます)

仕様

概要: 本装置は触針(スタイラス)を表面に接触させて走査(スキャン)することにより詳細な2次元(X-Z)測定を行うことができる触針式の段差・表面粗さ・微細形状測定装置です。本装置ではSi ウエハ、ガラス基板、ディスクなどに形成された薄膜や微細加工技術によって作製された構造などの表面形状を測定することができます。
本装置を用いて基板上に形成された薄膜の観察を行う場合、薄膜の有無による段差部分をスキャンすることにより膜厚の測定ができ、膜面上をスキャンさせれば、薄膜表面の凹凸を測定できます。接触させる針圧は一定で非常に小さく設定できますので、柔らかい材料(例えば高分子材料やフォトレジストなど)の薄膜でも傷をつけることなく容易に測定することができます。