超微小押し込み硬さ試験機(ナノインデンテーション・テスター)
- 装置番号
- A7303
- 構成装置・型番
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メーカー・名称 | 型番 |
エリオニクス | ENT-1100a |
- ヨミ
- チョウビショウオシコミカタサシケンキ(ナノインデンテーション・テスター)
- 料金
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30,100円 1日 (消費税10%を含みます)
- 仕様
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荷重範囲 | 0.098~980 mN |
測定範囲(深さ変位) | ±10 μm |
測定分解能 | 0.3 nm |
最大試料サイズ | φ50mm×13(t)mm |
測定位置決め精度 | ±2μm |
圧子(材質:ダイヤモンド) | バーコビッチ(先端三角錐) |
- 概要
- 平成24年1月より機器開放を開始しました。
本試験機は、圧子を超微小荷重で試料に押し込み、その進入深さを高分解能の変位計で読取ることにより、薄膜や材料最表面の力学的特性(押し込み硬さ、押し込み弾性率など)を評価することが可能です。
- 参考画像