三次元形状測定装置

装置番号

A1040

構成装置・型番

メーカー・名称	型番
ミツトヨ製輪郭形状測定機	フォームトレーサCS-5000

ヨミ

サンジゲンケイジョウソクテイソウチ

料金

5,200円 1時間　(消費税10%を含みます)

仕様

測定範囲	X軸:200mm、Z軸:6mm(標準スタイラス)、12mm(2倍長さスタイラス)
分解能	X軸:6.25nm、Z軸:2nm(標準スタイラス)、4nm(2倍長さスタイラス)
スタイラス	先端半径5μm、先端角40°ダイヤモンド
スタイラス追従角度	60°(登り・下り)

概要: 本装置は、ダイヤモンド触針を被測定物に接触させて表面をトレースすることにより、物体の断面形状を取得し、得られたデータをPCで解析することで、寸法(曲率半径、角度、距離)、形状精度、表面粗さを測定することができます。