メーカー・名称 | 型番 |
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ミツトヨ製 三次元画像測定機 | Quick Vision PRO |
ミツトヨ製 輪郭形状測定機 | フォームトレーサCS-5000 |
測定範囲(X,Y,Z) [Quick Vision PRO] | 476mm×650mm×250mm |
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測長ユニット [Quick Vision PRO] | 反射型リニアエンコーダ(分解能:20nm) |
測定精度 [Quick Vision PRO] | U1=0.8+2L/1000(X,Y軸)μm、U1=3.0+2L/1000(Z軸)μm |
測定範囲 [CS-5000] | X軸=200mm、Z軸=6mm(標準スタイラス) |
分解能 [CS-5000] | X軸=6.25nm、Z軸=2nm(標準スタイラス) |
スタイラス [CS-5000] | 先端半径5μm、先端角40°ダイヤモンド |
スタイラス追従角度 [CS-5000] | 60°(登り・下り) |