超精密自由曲面形状測定システム
- 装置番号
- A1039
- 構成装置・型番
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メーカー・名称 | 型番 |
超高精度三次元測定機(松下電器産業製) | UA3P-5 |
- ヨミ
- チョウセイミツジユウキョクメンケイジ
- 料金
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66,400円 1日 (消費税10%を含みます)
- 仕様
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測定範囲 | 200mm×200mm×45mm |
測定圧 | 50mg |
測定速度 | 0~6mm/秒(可変) |
導入年 | 平成8年(1996) |
- 概要
- 本装置は、非球面専用の形状測定器でレンズ、レンズ成形金型、ミラー等光学部品が主なターゲットとなります。
本装置独自の「原子間力プローブ」が、測定面上を走査しながら測定を行うことで、測定物に傷をつけることがなく、最高10nmの精度で最大角度60度の傾斜を有する非球面形状を測定することが可能です。